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  • BTR520.jpg

BTR-520智能上下料機(jī)

用途：用于藍(lán)寶石、半導(dǎo)體等行業(yè)拋光研磨工藝用陶瓷盤(pán)自動(dòng)上、下料，適用于DMP、CMP工藝。自動(dòng)化本體結(jié)構(gòu)采用左右對(duì)稱結(jié)構(gòu)，即一套自動(dòng)化設(shè)備對(duì)應(yīng)二臺(tái)拋光主機(jī)；

關(guān)鍵詞：?jiǎn)坞p面研磨、拋光設(shè)備

所屬分類(lèi)：

服務(wù)支持：

hiddenValue

  • 產(chǎn)品描述

  • 項(xiàng)目

    精度指標(biāo)

    備注

    上、下料單循環(huán)節(jié)拍(min)

    5min/run 

    單run上、下料時(shí)間

    適用于陶瓷盤(pán)（mm）

    ≤直徑φ520x20（厚度）

     

    掃碼頭讀碼尺寸范圍(mm)

    70x50區(qū)域

     

    Up Time

    ≥99%

    計(jì)算方法：(總時(shí)間-down機(jī)時(shí)間)/總時(shí)間)

    異常報(bào)警頻率

    ≤0.5%

    計(jì)算方法：異常報(bào)警次數(shù)/加工盤(pán)數(shù)

    MTBF(平均故障間隔時(shí)間）

    ≥1200小時(shí)

     

    MTTR(平均修復(fù)時(shí)間）

    ≤2小時(shí)（廠內(nèi)有備品的情況下）

     

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產(chǎn)品詢價(jià)

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