CDU智能液桶
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                                 32BF-4M5L精密雙面平面研磨機(jī)
                            
                        一、產(chǎn)品用途
主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對(duì)于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢(shì)。
二、安裝條件
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			 序號(hào)  | 
			
			 項(xiàng)目  | 
			
			 指標(biāo)要求  | 
		
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			 1  | 
			
			 環(huán)境  | 
			
			 室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源、無(wú)灰塵煙霧污染  | 
		
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			 2  | 
			
			 水源  | 
			
			 純水或自來(lái)水  | 
		
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			 3  | 
			
			 電源  | 
			
			 約70kW AC380V 50Hz(總功率)  | 
		
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			 4  | 
			
			 氣源  | 
			
			 壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑)  | 
		
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			 5  | 
			
			 溫度  | 
			
			 10℃-25℃  | 
		
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			 6  | 
			
			 相對(duì)濕度  | 
			
			 ≤95%  | 
		
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			 7  | 
			
			 外形尺寸(長(zhǎng)x寬x高)  | 
			
			 3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸)  | 
		
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			 8  | 
			
			 主機(jī)重量  | 
			
			 28000Kg  | 
		
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			 9  | 
			
			 主機(jī)顏色  | 
			
			 BH白或訂制  | 
		
三、主要特點(diǎn)
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			 序號(hào)  | 
			
			 項(xiàng)目  | 
			
			 特點(diǎn)  | 
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			 1  | 
			
			 壓力控制  | 
			
			 運(yùn)動(dòng)控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制,上盤最大使用壓力1200Kg,精度可達(dá)2%  | 
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			 2  | 
			
			 上盤調(diào)心  | 
			
			 采用萬(wàn)向節(jié)結(jié)構(gòu),調(diào)心靈活,承載力高  | 
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			 3  | 
			
			 上盤防落裝置  | 
			
			 雙重機(jī)械鎖定,安全性更高  | 
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			 4  | 
			
			 高精度速度控制  | 
			
			 自編程實(shí)現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運(yùn)轉(zhuǎn)控制,內(nèi)外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準(zhǔn)  | 
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			 5  | 
			
			 精密傳動(dòng)系統(tǒng)  | 
			
			 高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng)  | 
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			 6  | 
			
			 下盤支撐  | 
			
			 高精度流體軸承支撐  | 
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			 7  | 
			
			 免維護(hù)設(shè)計(jì)  | 
			
			 齒輪采用自動(dòng)集中潤(rùn)滑裝置,關(guān)鍵器件采用進(jìn)口知名品牌,軸承留有潤(rùn)滑接口  | 
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			 8  | 
			
			 強(qiáng)制散熱系統(tǒng)  | 
			
			 軸流風(fēng)機(jī)排熱方式,并預(yù)留抽風(fēng)接口,用戶可自行連接  | 
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			 9  | 
			
			 清洗便捷  | 
			
			 低臺(tái)面、半裸式接液盆  | 
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			 10  | 
			
			 同步升降  | 
			
			 齒圈太陽(yáng)輪同步升降,采用伺服電機(jī)拖動(dòng),可自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)高度,延長(zhǎng)使用壽命  | 
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			 11  | 
			
			 游輪精確定位  | 
			
			 齒圈太陽(yáng)輪采用伺服電機(jī)拖動(dòng),可實(shí)現(xiàn)游輪的精確定位  | 
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			 12  | 
			
			 水液分離裝置  | 
			
			 水液切換程序控制,自動(dòng)分離,操作便捷,清洗水可自動(dòng)排放  | 
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			 13  | 
			
			 整機(jī)減振  | 
			
			 防振式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安裝,設(shè)備更穩(wěn)定  | 
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			 14  | 
			
			 防護(hù)設(shè)計(jì)  | 
			
			 齒圈、太陽(yáng)輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍  | 
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			 15  | 
			
			 供液系統(tǒng)  | 
			
			 桶體設(shè)有排污口,具備溫度、液位監(jiān)測(cè),具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設(shè)有過濾器,管路設(shè)有流量監(jiān)測(cè),能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)流量  | 
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			 16  | 
			
			 自動(dòng)測(cè)厚  | 
			
			 設(shè)備裝有機(jī)械測(cè)厚系統(tǒng),能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)工件加工厚度  | 
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			 17  | 
			
			 分級(jí)管理  | 
			
			 密碼分級(jí)管理,不同人員具有不同的操作權(quán)限  | 
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			 18  | 
			
			 工藝適用性  | 
			
			 程序控制  | 
			
			 可儲(chǔ)存多套工藝參數(shù),每套工藝可達(dá)20步,工藝參數(shù)設(shè)置包括(壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等)  | 
		
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 速比搭配  | 
			
			 四電機(jī)獨(dú)立同步拖動(dòng),上下盤、內(nèi)齒、外齒(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定,具有配方功能  | 
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